来源: 2025-10-22 09:37
系统温度:10 K ~ 873 K
控温稳定性:±0.05 K
最高真空度:4.5 × 10 −3 Pa
探针臂:4个直流式探针、2个射频或2个光纤探针
探针移动精度:2 µm
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