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微加工仪器与设备

RAITH EBPG 5150 电子束光刻系统

来源: 2025-10-20 19:06

加速电压:30 、50 、100 kV

加工精度:< 8 nm

写场大小:1 mm

场拼接精度:<15 nm

套刻精度:<5 nm

加速电压:20 、50 、100 kV

衬底尺寸:6英寸及以下

束流稳定性:< ±0.5%/hr

束位置稳定性:<50 nm/hr