来源: 2025-10-20 19:06
加速电压:30 、50 、100 kV
加工精度:< 8 nm
写场大小:1 mm
场拼接精度:<15 nm
套刻精度:<5 nm
加速电压:20 、50 、100 kV
衬底尺寸:6英寸及以下
束流稳定性:< ±0.5%/hr
束位置稳定性:<50 nm/hr
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