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微加工仪器与设备

RAITH eLINE Plus 电子束光刻系统

来源: 2025-10-21 09:54

加工精度:<4 nm@1kV, 1.6 nm@ 20kV

拼接精度:<20 nm

套刻精度:<20 nm

衬底尺寸:4英寸及以下

加速电压:1~30 kV

束位置稳定性:92.05 nm/h

束流稳定性: <±0.2%/hr