来源: 2025-10-21 09:54
加工精度:<4 nm@1kV, 1.6 nm@ 20kV
拼接精度:<20 nm
套刻精度:<20 nm
衬底尺寸:4英寸及以下
加速电压:1~30 kV
束位置稳定性:92.05 nm/h
束流稳定性: <±0.2%/hr
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