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微加工仪器与设备

紫外光刻系统

来源: 2025-10-21 10:20


  


  光刻分辨率:1 μm

  衬底尺寸:≤4 英寸

  面内位移精度:<0.1 μm

  紫外光源:365 nm/405 nm

  照均匀性:>97%