来源: 2025-10-21 11:49
真空度:5.0×10-8
速率分辨率:0.1 Å /秒
膜厚分辨率:1 Å
单批次镀膜种类:8种金属
单批次晶圆个数:6片晶圆
独立水冷系统
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