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微加工仪器与设备

电子束蒸镀系统

来源: 2025-10-21 11:49

  

 真空度:5.0×10-8

  速率分辨率:0.1 Å /秒

  膜厚分辨率:1 Å

  单批次镀膜种类:8种金属

  单批次晶圆个数:6片晶圆

  独立水冷系统




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