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微加工仪器与设备

原子层沉积系统

来源: 2025-10-21 13:52


 78F85 基底加热温度:RT-400 ℃,± 1 ℃

 样品台尺寸:4 inch;

  沉积模式:快速模式、高纵深 比模式、专业、掺杂模式